要造出自主可控的中国芯，需要什么？

28nm离子注入机在中芯国际12英寸生产线

　　集成电路芯片及其制造技术是信息时代的基石，是保障国家安全和国防建设的战略性资源。面向国家战略需求，在中国电科“1+8”品牌体系建设的部署下，中国电科旗下成员单位——中电科电子装备集团有限公司(简称“电科装备”)形成了“烁科装备SEMICORE－EQ(装备制造)”、“烁科红太阳SEMICORE－RS(光伏能源)”、“烁科国际SEMICORE－INT(国际业务)”三大品牌，旨在展现电科军工科研的底蕴，在离子注入设备、化学机械抛光设备等集成电路核心装备以及其辐射带动下的新型平板显示器装备、光伏装备、动力电池材料装备等泛半导体装备的局部成套和集成服务能力。

　　电科装备离子注入机研发团队技术总监张丛表示，当前自主可控“中国芯”的重要性已经受到越来越多的重视，但很多人还没意识到“中国芯”的制造设备也需要自主可控。事实上，此前芯片的制造设备基本被控制在极少数国外企业手中，就连英特尔等芯片巨头的生产线也得仰仗这些上游供应商。对于中国芯片制造行业而言，这些国外企业不但掌握着对华出口相关设备的定价权，而且还能控制向中国出口设备的技术水准。“如果说国外技术已经发展到第三代，但只愿意向中国提供第一代的设备，那我们就没法用哪怕是第二代的设备来生产芯片。”此外，由于国外企业对芯片生产设备的严格控制，这些先进设备也无法用于航天、军用等领域的芯片制造上。

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